为了保持洁净室内的环境,增加洁净室内的有效空间,净化无尘车间,各种管道的干管均应尽量敷设在技术夹层或技术夹道内,10万级净化车间,引入洁净室内的管道支管、各种物料管道宜明设,便于拆洗、消毒等。
穿过洁净室的楼板和墙壁时应设套管,套管内不得有接头,管子与套管之间必须用不燃和不产尘的材料密封,如自熄聚本乙烯等不燃塑料,套管端头用法兰罩封严。
无尘车间设备如何选择、布置与保养:
a.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备,尤其须注意活动部分之发尘。
b.应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。
c.生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因,故应配备过滤装置。
d.规划各设备之配置空间时,事先宜考虑不易积累微尘之结构,规划各并以容易清洁为原则。
e.真空泵等容易产生污染物的这类设备,净化车间标准,应设置在无尘车间外面或回风区,并加装排气管线排气。
f.设置给水管线、气体管线和电气系统时,其构造须考虑到容易清洁,不易积累污染物。
g.生产及相关设备应定期清扫,以避免微尘之堆积。
洁净厂房内大型配电屏、配电箱一般不应设在洁净区内,而安装在技术夹层、技术夹道内或专用配电房内,电气线路的接线盒或拉线盒应安装在洁净室毗邻的对洁净度无要求或要求相对较低的区域。
洁净度要求严格的洁净厂房,净化车间,洁净室的上下部设置技术夹层,此时下部技术夹层可用作回风静压室。敷设的静压室内的管线、电缆、母线安装敷设前要事先进行清洁处理,并便于日常清洁。