十万级高洁净车间：指洁净级别，可以理解为无尘室，但是无尘室也是需要换气的，换进去的空气需要经过净化室净化，再送到无尘室。
100000（10万）级要求每小时换气15-19次，完全换气后空气净化时间不超过40分钟。
10000（1万）级别要求每小时换气23-28次，完全换气后空气净化时间不超过30分钟。
1000（1千）级别要求每小时换气43-55次，完全换气后空气净化时间不超过20分钟。
洁净室设计参数：
●换气次数：
十万级10－15次/小时；
万级15－25次/小时；
千级50－52次/小时；
百级操作台断面风速0.25-0.35m/s
●压差：主车间对相邻房间≥5Pa。
●温度：冬季＞16℃±2℃；夏季＜26℃±2℃；
●相对湿度：45－65％（RH）；噪声≤65dB（A）；新风补充量：总送风量的20％－30％；
●照度：≥300Lux。
洁净室内的架空地板是用来掩盖工具、设备与动力设备之间的电线、通讯电缆、水电、管道的连接的。后来，为了节约成本，在“bay-and-chase”式的洁净室结构中，这些架空地板被当作从港湾到夹层的回内通道。在完全单向气流的洁净室内，人们希望微粒从工作区域流到带小孔的地板下。我们已经成功的建立了10级和100级的洁净室，在这些洁净室内没有架空地板，采用墙下部回风系统，而且洁净室的气流被设计成紊流。另个一种办法是用薄的空气喷射装置隔离超清洁区域，这种空气喷射的速度是每分钟500到800英尺。它的功能类似于塑料门帘。
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