洁净厂房内大型配电屏、配电箱一般不应设在洁净区内,而安装在技术夹层、技术夹道内或配电房内,电气线路的接线盒或拉线盒应安装在洁净室毗邻的对洁净度无要求或要求相对较低的区域。
洁净度要求严格的洁净厂房,洁净室的上下部设置技术夹层,此时下部技术夹层可用作回风静压室。敷设的静压室内的管线、电缆、母线安装敷设前要事先进行清洁处理,并便于日常清洁。
10万级无尘车间的洁净标准:
1、尘粒蕞大允许数(每立方米)。
2、大或等于0.5微米的粒子数不得超过3500000个,大或等于5微米的粒子数不得超过20000个。
3、微生物蕞大允许数。
4、浮游菌数不得超过500个每立方米。
5、沉隆菌数不得超过10个每培养皿。
6、压差:相同洁净度等级的洁净室压差保持一致,对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要≥5Pa,洁净室与非洁净室之间要≥10Pa。
7、温湿度要求:十万级洁净室对温度、湿度无特殊要求时,以穿着洁净工作服不产生舒服感为宜,温度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波动±2℃。冬季洁净室湿度控制在30-50%,夏季洁净室湿度控制在50-70%。
8、配电:洁净室(区)的主要生产用房一般照度值宜≥300Lx;辅助工作室、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等的照度值宜为200~300Lx。
无尘净化车间亦名无尘室或清净室,目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为各国在科技发展上极为重视的项目。净化车间对无尘干净这方面要求非常高。