在10万级净化车间中，允许粉尘颗粒数为0.5百万或以上的颗粒数量不得超过350万颗，颗粒数大于或等于5微米的颗粒数不得超过20,000颗。0.5微米的概念是什么？发束的直径约为70-100微米，细菌的大小约为1微米至2微米。通过净化空气系统，大于或等于5微米的颗粒数量不应超过20,000。所以10万级净化车间的净化程度非常高。
洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为更适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。并装局部无尘室：将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
十万级无尘车间装修成本有哪些？哪些因素影响十万级无尘车间装修成本呢？主要由主机系统、末端系统、天花板、隔间、地板、净化等级、照度要求、行业类别、品牌定位、天花板高度、面积十一个要素来决定。其中天花板高度和面积基本是不可变量因素，其余9个都是可变量的。以主机系统为例，市面上主要是用的水冷柜机、直膨机组、风冷冷水机组、水冷冷水机组四种，四种不同的机组，价格不一样，而且差距非常大。
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