无尘车间的特殊优势。无尘车间可以将洁净气流尽快的分布到整个洁净区,然后以此来冲淡室内污染源塞不的尘、菌以及对空气的污染,从而达到生产环境所要求的洁净度。不但如此,无尘车间还能将污染源尽快的在室内排出,减少尘、菌在室内的停留时间,缩小不洁物质跟产品接触的几率。无尘车间是指控制产品(如硅片)所暴露的大气的清洁度和温度湿度,以便产品能够在良好的环境中生产和制造。这个环境空间的设计和建造过程可以称为净化工程。
洁净工作台:等级Class 1~100级。洁净工作棚:为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。净化车间空气过滤器的选择要考虑到过滤器的投资和使用寿命,山东净化公司认为,由于净化车间的特性不同,高效过滤器的选择先要按照洁净室的级别、无菌程度、温湿度、耐火程度、防腐等不同要求来确定。如100级以下选择A类或B类,100级以上则需要选择C类过滤器;高温高湿条件下宜选用金属分隔板和金属框架的过滤器;有防腐要求的宜选用塑料分隔板和塑料框架的过滤器;有防火要求的,过滤器所有材料应为不燃性等等。本文不考虑这些问题,仅仅考虑影响常规高效过滤器(以过滤≥0.5μm为主)的选择量和阻力问题。
在进行净化车间设计施工时应该注意:洁净室并非越大越好,面积和空间的大小关系着送风量的多少,决定着空调能耗的大小,影响工程的投资。但净化车间的空间面积也不可太小,太小可能不便于操作、维修。所以,设计合理的空间面积应考虑到设备操作、维修的需要。生产区和储存区应有与生产规模相适应的空间面积,用以安置设备、物料,便于操作和维修。一般洁净室高度控制在2.60米,对个别较高的设备可在局部加高,而不宜提高洁净区的高度。净化车间内部应设有物料的中间站,其面积足以存放物料、中间产品、待验品和成品,且便于明确分区,以减少差错和交叉污染。