洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为更适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。并装局部无尘室：将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
十万级无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。无尘车间室内空气经处理后，所含微粒数少于一定数量要求，一般分十万级、万级、千级等，即室内每立方米空间的微粒数不大于十万、一万、一千个……。
十万级无尘车间装修成本有哪些？哪些因素影响十万级无尘车间装修成本呢？主要由主机系统、末端系统、天花板、隔间、地板、净化等级、照度要求、行业类别、品牌定位、天花板高度、面积十一个要素来决定。其中天花板高度和面积基本是不可变量因素，其余9个都是可变量的。以主机系统为例，市面上主要是用的水冷柜机、直膨机组、风冷冷水机组、水冷冷水机组四种，四种不同的机组，价格不一样，而且差距非常大。
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