山东晴朗净化科技有限公司

在10万级净化车间中，允许粉尘颗粒数为0.5百万或以上的颗粒数量不得超过350万颗，颗粒数大于或等于5微米的颗粒数不得超过20,000颗。0.5微米的概念是什么？发束的直径约为70-100微米，细菌的大小约为1微米至2微米。通过净化空气系统，大于或等于5微米的颗粒数量不应超过20,000。所以10万级净化车间的净化程度非常高。

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视频作者：山东晴朗净化科技有限公司

洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为更适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。并装局部无尘室：将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

在进行净化车间设计施工时应该注意：洁净室并非越大越好，面积和空间的大小关系着送风量的多少，决定着空调能耗的大小，影响工程的投资。但净化车间的空间面积也不可太小，太小可能不便于操作、维修。所以，设计合理的空间面积应考虑到设备操作、维修的需要。生产区和储存区应有与生产规模相适应的空间面积，用以安置设备、物料，便于操作和维修。一般洁净室高度控制在2.60米，对个别较高的设备可在局部加高，而不宜提高洁净区的高度。净化车间内部应设有物料的中间站，其面积足以存放物料、中间产品、待验品和成品，且便于明确分区，以减少差错和交叉污染。